紀80年代初期，隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，具有大抽氣量和更低的極限壓力的復合分子泵誕生了。在復合分子泵中的牽引級又開始利用了盤型分子泵。這主要是盤型分子泵與渦輪分子泵組合可以相互彌補不足。為了使盤型復合分子泵的性能進一步提高，對抽氣通道內氣體的輸運行為進行模擬分析是十分重要的。此后，人們將相當多的努力投入到對抽氣通道稀薄氣體流動的研究中。儲繼國于年提出了由渦輪分子泵和組成的復合分子泵。采用矩方程方法，研究了在自由分子流態(tài)下的抽氣性能。他們發(fā)現(xiàn)性能強烈的依賴轉速和幾何參數(shù)。巴德純等利用分子氣體動力學的理論對抽氣通道內氣體的輸運行為進行模擬，建立了新的流動數(shù)學模型，計算出了過渡流態(tài)抽氣通道內的壓力場和速度場，推導出了過渡流態(tài)下盤型分子泵抽氣系數(shù)的理論計算公式，并討論了影響抽氣系數(shù)的因素。采用陽方法研究單級轉子一轉子組合的連續(xù)流，采用的是無滑移邊界條件和能量方程的一方程。有限差分近似被采用求解帶一網格系統(tǒng)的運輸方程。但是，發(fā)現(xiàn)一方程在分子過渡區(qū)不能有效的預測的性能。通過同時使用方法和第二邊界條件下的一方程數(shù)字化研究了分子的過渡流和滑流態(tài)。以上的研究中，除了等的研究外，大多數(shù)的先前的數(shù)值研究考慮的僅僅是半級，盤型分子泵的抽氣特性進行了模擬研究，并討論了盤型分子泵通道幾何參數(shù)對流動特性的影響。全國真空冶金與衰面工租學術研討會會談論文集指出了通過改變泵的尺寸參數(shù)提高抽氣系數(shù)的途徑。最后，進行了實驗研究和模擬研究結果的對比，證明模擬計算結果在允許的誤差范圍內。同年和采用方法研究了穩(wěn)態(tài)和非穩(wěn)態(tài)領域的單級盤型拖動泵。考慮了兩種不同類型的泵一種是轉子轉子組合，另一種是轉子一定子的組合。為了驗證數(shù)值結果做了一些實驗。數(shù)值結果和實驗數(shù)據之間有好的一致性。盤型分子拖動泵的幾何結構及試驗裝幾何結構單級賓型的幾何結構。目前的研究中，轉子一轉子和轉子一定子的配置都加以考慮。在配置中，螺旋通道做在轉子和定子上，在配置中，螺旋通道都做在轉盤，的上下面上。
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